這裡的半導體設備公司主要以具備機構、電控、製程系統整合設計能力的設備廠商，不含代理銷售的廠商。
政府部門研析指出台灣有超過126家半導體設備業者，參考資料1，
超過9成是中小企業，
參考資料1，政府希望能幫助台灣半導體產業建立完整的產業鏈技術，其中就必須包括半導體設備，
這個計畫項目透過13項計畫補助，資助13家設備廠部分經費進行半導體設備開發，簡列如下()內為該設備參考價格：
1. 天虹：90nm 厚鋁PVD設備(NTD75M)，主要領導廠商AMAT(NTD90M)，Youtube介紹：
2. 漢辰：3nm 離子佈植設備(USD3.5M)，主要領導廠商AMAT(USD4M)
3. 大量：CMP用PAD量測設備，(NTD10M)，取代廠商Sensofar (NTD20M)
4. 馗鼎：光罩表面電漿清潔設備(NTD16M)
5. 弘塑：SoIC銅導線用去光阻設備(NTD80M)，LAM (NTD100M)
6. 億力鑫：厚膜光阻塗佈顯影設備((NTD50M)，TEL(NTD120M)
7. 力鼎：RDL製程金屬種子層PVD設備(NTD80M)，AMAT(NTD120M)
8. 志聖：RDL製程介電層貼合設備(NTD80M)，NITTO(NTD100M)
9. 均華：晶片取放固晶設備(NTD30M)，SHIBAURA(NTD50M)
10. 凌嘉：元件封裝抗電磁波鍍膜設備(NTD80M)，CNI(NTD120M)
11. 旭東：探針卡光學檢量測設備(NTD15M)
12. 思衛：探針卡電性測試設備(NTD15M)，AMAT(25M)
13. 台灣電鏡：晶圓電子束掃描檢測設備(NTD40M)，日本H公司(NTD80M)
除了有領政府計畫補助開發設備的以上13家廠商以外，
其他跟半導體上中下游各產業有關的台灣設備廠其實還有很多，
不過大部分都是在作後段封裝設備或前中段主製程之外的週邊設備，
往好處看台灣設備廠商介入的空間還很多，
往壞處看，半導體產業已經在台灣發展這麼多年，台灣設備廠技術能力與規模能介入的有限，所以能做的設備還是很有限。
參考資料：
1. A世代半導體-先端技術與產業鏈自主發展計畫，PDF檔
2. 第三類半導體設備台灣廠商的機會，新聞連結
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